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光刻技术（Photo-lithography）是人类迄今所能达到 的尺寸最小、精度最高的加工技术，是利用光学-化学 反应原理和化学、物理刻蚀方法，将设计好的微图形结 构（如电路线路图）转移到覆有感光材料的晶圆、玻璃 基板、覆铜板等基材表面上的微纳制造技术。
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